等离子清洗机
AW-ZP系列在线式等离子清洗机
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产品特性
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产品详情
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产品型号 |
AW-ZP04 |
AW-ZP04A |
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外形尺寸（含报警灯塔） |
1650(W)×1000(D)×1650(H)mm |
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反应仓尺寸（铝合金） |
280(W)×450(D)×50(H)mm |
350(W)×450(D)×50(H)mm |
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等离子体发生器 |
频率13.56MHz，功率0-600W/1000W可调，自动阻抗匹配 |
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气路系统 |
标准配置2路(O2/Ar/H2)，MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调 |
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控制系统 |
触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式 |
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兼容料片尺寸 |
长150-300mm，宽30-100mm |
长105-155mm，宽30-80mm |
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清洗效率 |
4道4片，UPH约500片/小时 |
4道8片，UPH约800片/小时 |
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针对产品工艺 |
集成电路IC封装工艺 |
LED封装工艺 |
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备注 |
可按客户需求弹性设计 |
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AW-P系列腔体式等离子清洗机
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产品特性
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产品详情
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产品型号 |
AW-P100 |
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外形尺寸（含报警灯塔） |
1000(W)×950(D)×1950(H)mm |
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腔体尺寸 |
500(W)×500(D)×400(H)mm，不锈钢 |
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等离子体发生器 |
频率13.56MHz，功率0-600W/1000W可调，自动阻抗匹配 |
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电极规格 |
平行式电极，多层，单层有效面积450(W)×450(D)mm |
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真空系统 |
德国莱宝（Leybold）真空泵，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计 |
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气路系统 |
标准配置2路，质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件 |
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控制系统 |
触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式 |
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备注 |
可按客户需求弹性设计 |
